擴散泵機組‌在真空鍍膜機中起著至關重要的作用，其維護保養和應用方法對于確保設備的正常運行和延長使用壽命至關重要。以下是關于擴散泵機組的維護保養及應用的具體建議：
 

　　擴散泵機組‌的維護保養方法

 

　　‌•冷卻水管理‌：在運行過程中，必須確保冷卻水供應暢通。停止加熱后，需等待泵工作液冷卻后方可關閉冷卻水‌。
 

　　‌•真空狀態管理‌：擴散泵停止工作時，應保持其內部真空狀態，以防止泵油劣化。長期存放時也應保持真空狀態，并清除冷卻水套內的剩余水分‌。

 

　　‌•氣體管理‌：被抽氣體需保持干燥、無腐蝕性且無灰塵，以確保擴散泵的正常運行‌。

 

　　‌•定期檢查‌：定期檢查泵的性能，包括泵油是否減少或氧化，零件和泵腔的清潔情況。必要時進行加油、換油或清洗處理‌。

 

　　‌•重新啟動前的檢漏‌：重新啟動前必須進行檢漏工作，確保連接處無漏氣隱患‌。

 

　　擴散泵機組‌的應用方法

 

　　‌•安裝與裝配‌：重新裝配時，應保持泵芯與泵底垂直且與泵腔同心，各級噴嘴間隙應按原要求調整好‌。

 

　　‌•清洗與烘干‌：清洗零件及泵腔時，先用航空汽油清洗，然后用丙酮擦洗，并在80-100攝氏度下烘干或用電吹風吹干‌。

 

　　‌•啟動條件‌：只有在達到擴散泵的前級真空度時才能進行加熱，否則會加速泵油的氧化‌。

 

　　‌•前級機械泵的管理‌：注意前級機械泵的工作情況，因為前級機械泵的性能直接影響油擴散泵的正常工作‌。

 

　　通過以上維護保養方法的應用，可以有效延長擴散泵機組的使用壽命，確保其高效穩定運行。